...(介电系数)愈低,则绝缘性愈高,Sio2 的k 值约在3.9-4.5 之间,而替换的可行材料包括氟硅酸玻璃(Fluorinated silicate glass),黑钻石(Black Diamond),Blok (Barrier Low k), 等。
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fluorinated silicate glass
氟化硅酸盐玻璃
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