focus latitude enhancement exposure
2 2 ) (NA k DOF 离轴照明增大焦深 8 扩大调焦范围曝光(FLEX, Focus Latitude Enhancement Exposure )，主要适用于曝光接触孔或通孔时扩展焦深， 同时也可以用于曝光硅片表面不平坦引起表面随机变化的 区域。
基于1个网页-相关网页
focus latitude enhancement exposure
聚焦纬度增强曝光
以上为机器翻译结果，长、整句建议使用 人工翻译 。