...利略温度计 真空泵大致分为两大类,一类是“储气式泵”(Entrap- ment Pump),包括吸附泵(Adsorption Pump)、吸气泵(Getter Pump) 、低温泵( Cryopump) ……
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... 被抽介质或是在温度非常低的表面上(低于120 K)捕集,或使用大的有效面积的多孔媒介物在低温条件下来吸附被抽介质的真空泵。例如:低温泵和吸附泵。本文中使用的术语“低温”,其温度要低于120 K。 吸气剂泵 getter pump 分子泵 molecular pump ...
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另一种捕捉式帮浦为离子帮浦 (ion pump),又名“溅式离子帮浦”(sputter ion pump) 或“ 聚杂帮浦 ”( getter pump ),如图21。离子帮浦的作用原理和离子植入机或溅镀机中的离子化部位颇为类似,.
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titanium getter pump 钛吸气泵 ; 钛薄膜
ion getter pump 离子吸气泵
getter-pump 吸气泵
evaporator getter pump 蒸发吸气泵
differential getter pump 差动式吸气泵
bulk getter pump 体积吸附泵 ; 容积吸气剂泵
Zr getter pump 锆吸气泵
ion-getter pump 离子吸气泵
getter-ion pump 吸气离子泵
A composite pump was developed which is composed of a non evaporable getter pump and a sputtering ion pump.
研制了一种由非蒸散型消气剂泵与冷阴极溅射离子泵组成的复合泵。
Zirconium-aluminium getter pump is a new type of vacuum installation, in which the non-evaporable getter material is used to absorb the active gases.
锆铝吸气泵是利用非蒸散型吸气剂吸附活性气体的一种新型真空设备。
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