high aspect ratio micro-electromechanical systems
飞思卡尔与CEA-Leti研究人员曾推出最新颖的高向性微机电系统(high aspect ratio micro-electromechanical systems，HARMEMS)侧录感应技术，过去数年已正式使用在飞思卡尔的汽车安全气囊感应应用当中。
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high aspect ratio micro-electromechanical systems
高纵横比微机电系统
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