high aspect ratio trenches
3D NAND 制造关键工艺 3D NAND的制造工艺十分复杂，以下把关键部分列出： High aspect ratio trenches（高深宽比的沟开挖） No doping on source or drain（在源与漏中不掺杂） Perfectly parallel walls（完全平行的侧壁） Tens of stairsteps（众多级的...
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high aspect ratio trenches
高纵横比沟
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