文章摘要信息 关键词 ： 压电直线电机 尺蠖式 叠层型压电陶瓷 箝位力 [gap=688]Keywords : piezoelectric linear motor;inchworm-type;piezoelectric stack;clamping force
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inchworm-type piezoelectric actuator 压电尺蠖式位移致动器
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