22g/ 回复: 干蚀刻基本上包括「离子轰击(ion-bombardment)与「化学反应(chemical reaction) 两部份蚀刻机制。偏「离子轰击效应者使用氩气(argon)，加工出来之边缘侧向侵蚀现象极微。
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ion bombardment [物] 离子轰击 ; 离子虫击 ; 离子撞击 ; 离子轰击现象
ion bombardment secondary electron image 离子轰击二次电子象
fast ion bombardment 快离子轰击
ion bombardment ion source [物] 离子轰击离子源
ion bombardment complex treatment 离子轰击复合处理
ion bombardment etching 离子轰击浸蚀
positive ion bombardment 正离子轰击
secondary ion bombardment 二次离子撞击
ion-bombardment heat 离子轰击热处理
The effects of ion bombardment on the field emission of screen printed tetrapod zinc oxide(ZnO) cathodes are reported.
在场发射器件中,比如场发射显示器件,阴极的跌落是一个影响器件寿命的关键因素,而阴极在工作过程中受到的离子轰击可能导致阴极的跌落。 本文研究了离子轰击对纳米氧化锌阴极的影响。
参考来源 - 离子轰击对氧化锌阴极场发射性能的影响·2,447,543篇论文数据，部分数据来源于NoteExpress
At the same time, the influence of plasma charging and ion bombardment on the quality of silicon oxide are analyzed.
我们同时对反应离子刻蚀工艺中的等离子体充电效应和离子轰击对氧化硅造成的损伤进行了讨论。
The effect of ion bombardment on film packing density and moisture adsorption is examined.
研究了离子轰击对薄膜聚集密度和潮气吸附的影响。
The study also illustrates that the finer structure of porous bodies will be beneficial for improving the cathode emission uniformity and resistance to ion bombardment.
研究还证实多孔体的结构越趋细微，越有利于阴极的发射均匀性和耐离子轰击的性能的改善。
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