离子束辅助沉积铪薄膜晶粒的择优取向 - TNMSC 关键字: 离子束辅助沉积；铪膜； 择优取向[gap=1315]Key words: ion beam assisted deposition(IBAD); Hf film; preferred orientation
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...期刊网络出版总库 erhard nanocomposites; TiN/Si_3N_4 films; 【摘要】 采用离子束辅助沉积法(Ion beam assisted deposition,IBAD)在单晶硅片上进行沉积制备了TiN／Si3N4 纳米复合超硬薄膜;研究了辅助束流、轰击能量和Ti:Si..
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...辅助沉积技术 铁铬钼软磁合金 显微硬度 口腔矫形学 【文 摘】目的：研究应用离子束辅助沉积技术（ion beam assisted deposition,IBAD)制备TiN纳米薄膜提高铁铬钼软磁合金在口腔环境中的耐磨损性能。
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...文数据库 MG63; 【中英文摘要】 目的:评价微弧氧化(Micro-arc Oxidation,MAO)与离子束辅助沉积(Ion Beam Assisted Deposition,IBAD)相结合的处理方法对钛种植材料表面微形态及成骨活性的影响。
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dual ion beam assisted deposition 离子束辅助沉积
dynamic ion beam assisted deposition 动态离子束增强沉积
reactive ion beam assisted deposition 反应离子束辅助沉积
ion beam assisted reactive deposition 离子束辅助反应沉积
ion beam-assisted reactive deposition 离子辅助反应蒸发技术
Objective: To study the effect of TiN film obtained by ion beam assisted deposition (IBAD) technology on magnetic force of FeCrMo soft magnetic alloy.
目的：研究应用离子束辅助沉积制备氮化钛薄膜后，对磁性附着体磁力的影响。
The design and fabrication of wide band infrared anti reflection film on Ge substrate micro optical components by ion beam assisted deposition are reported.
简要叙述了锗基片微光学元件红外宽带减反膜的设计与制作。
In this paper, prevailing TBC deposition technologies, including plasma spray, electron beam-physical vapor deposition, ion beam assisted film deposition and chemical vapor deposition, are reviewed.
综述了热障涂层研究及应用中的几种主要制备技术，包括等离子喷涂、电子束物理气相沉积、离子束辅助沉积、化学气相沉积等。
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