离子束沉积法（Ion Beam Deposition，IBD）是最早用 于制备DLC膜的方法。1971年，SolaAiserberg和RonaldChabot用该...
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1．物理气相沉积（PVD） （1）离子束沉积、离子束增强沉积 离子束沉积（Ion beam deposition，IBD）是最早用于沉积DLC膜的工艺，这种 方法的原理是采用氩等离子体溅射石墨靶形成大量的碳离子，并通过电磁...
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研究中心-电子工程专辑 a公司日前推出具有其专利MORI电浆源的StratIon fxP——全球首台用于12吋(300mm)晶圆级离子束沉积系统(Ion Beam Deposition，IBD)。而该公司的第一台StratIon fxP系统已获法国的欧洲领先电子学及自旋电子学应用研究中心CEA
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ion beam deposition equipment 离子束镀膜设备
IBD Ion Beam Deposition 离子束淀积
ion beam deposition technique 离子束沉积技术
Ion beam deposition apparatus 发明名称
dual ion beam deposition 双离子束淀积
Assist Ion Beam Deposition 离子束辅助沉积
Ion beam assisted deposition 离子束辅助沉积 ; 离子束辅助沉积法 ; 离子束辅助沉积技术 ; 与离子束辅助沉积
Ion Beam Enhanced Deposition 离子束辅助沉积 ; 用离子束辅助沉积
Ion Beam Sputter Deposition 子溅镀 ; 离子束溅射沉积
以上来源于: WordNet
Objective: To study the effect of TiN film obtained by ion beam assisted deposition (IBAD) technology on magnetic force of FeCrMo soft magnetic alloy.
目的：研究应用离子束辅助沉积制备氮化钛薄膜后，对磁性附着体磁力的影响。
DOE's fabrication techniques mainly include laser beam or electron beam writing, RIE, ion milling and thin film deposition.
衍射光学元件的制作技术主要包括激光或电子束直写、反应离子刻蚀、离子束铣及薄膜沉积。
DLC films and gradient composition DLC films were deposited on si substrates in plasma-ion beam enhanced deposition system for the industrial applications and improving the adhesion.
本文基于产业化应用和改善类金刚石膜与基体结合力为目的，在大型工业用等离子体—离子束增强沉积系统中，获得了DLC膜和梯度复合dlc膜。
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