...技术主要有真空蒸镀、离子镀、激光辅助沉积（Pulsed Laser Deposition，PLD）、离子束辅助沉积（Ion Beam Enhanced Deposition，IBED）、溅射沉积（Sputtering Deposition，SD）等技术。
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... beam 临界载荷 塑性变形 【文 摘】为改善钛合金（Ti6A14V）的生物相容性，采用离子束辅助沉积（Ion beam enhanced deposition，IBED）技术制备了氧化钛膜层。
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ion beam enhanced deposition method 离子束增强沉积
dynamic ion beam enhanced deposition 动态离子束增强沉积
ion beam enhanced deposition technology 离子束增强沉积技术
It can be used for single ion implantation, ion beam mixing, single ion or reactive ion beam sputter-deposition and ion beam enhanced deposition.
可用于单离子注入，离子束混合，单离子或反应离子束溅射淀积以及离子束增强淀积。
DLC films and gradient composition DLC films were deposited on si substrates in plasma-ion beam enhanced deposition system for the industrial applications and improving the adhesion.
本文基于产业化应用和改善类金刚石膜与基体结合力为目的，在大型工业用等离子体—离子束增强沉积系统中，获得了DLC膜和梯度复合dlc膜。
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