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ion beam lithography

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abstract: Ion beam lithography is the practice of scanning a focused beam of ions in a patterned fashion across a surface in order to create very small structures such as integrated circuits or other nanostructures.F.

以上来源于: WordNet

In this paper, Focused Ion Beam Lithography technology and is introduced.

对聚焦离子束曝光技术作了介绍。

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