... ion beam etching 离子束腐蚀 ; 离子束蚀刻 ion bombardment etching 离子轰击浸蚀 ion enhanced etching 离子增强腐蚀 ...
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ion bombardment etching
离子轰击蚀刻
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The authors think that the high temperature on polymer local surface produced by ion bombardment is the main cause of artifacts on sample surface treated by ion-etching.
本文作者认为等离子体轰击高聚物表面引起的局部高温是离子刻蚀后试样表面出现伪迹的重要原因。
youdao
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