...刻胶(蓝色部分)，然后光刻，并洗掉曝光的部分，剩下的光刻胶还是用来保护不会离子注入的那部分材料。 离子注入(Ion Implantation)：在真空系统中，用经过加速的、要掺杂的原子的离子照射(注入)固体材料，从而在被注入的区域形成特殊的注入层，并改变这些区域的...
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angled ion implantation 倾斜离子注入
maskless ion implantation 无掩模离子注入
masked ion implantation 掩蔽离子注入
high dosage ion implantation 高剂量离子注入
ion implantation gettering 离子注入吸除
ion implantation mask 离子注入掩膜
ion implantation annealing 离子注入后退火
low energy ion implantation 低能离子注入
low dosage ion implantation 低剂量离子注入
Also it has fabrication advantages avoiding the steps of ion implantation and annealing at high temperature.
其制备工艺简单，避免了离子注入工艺和退火步骤。
参考来源 - 硅肖特基源漏MOSFET的模拟研究After ion implantation, the hardness and wear resistance of copper alloys all increased.
离子注入提高了铜合金的硬度和耐磨性。
参考来源 - 铜合金离子注入层的组织结构及摩擦特性And we obtained the higher luminous intensity borate system. In the end, we have carried on the computation to the ion implantation density.
通过调整基质玻璃组分和掺杂稀土离子的含量,得到了较好的制备工艺参数,并对其进行了多方面的测试和表征,得到了较高发光强度的硼酸盐体系发光玻璃,对离子掺杂浓度进行了计算。
参考来源 - 稀土掺杂硼酸盐体系发光玻璃的制备及发光性能研究·2,447,543篇论文数据，部分数据来源于NoteExpress
N a technique used in the manufacture of semiconductor devices in which impurities are implanted by means of beams of electrically accelerated ions 离子注入法
Deep ion implantation modulates punch -through voltage.
深离子注入调整源漏穿通电压。
Plasma source ion implantation is a new non-line of sight ion implantation technique for surface modification of materials.
等离子体源离子注入技术是一种新型的非视线的离子注入材料表面改性技术。
The READE (Rare Event Algorithm with Dose Effect) method can well speed up the MD simulation of ion implantation with dose effect.
（包含剂量效应的稀有事件算法）方法可以很好的加速含剂量效应的离子注入的分子动力学模拟。
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