离子注入( injecting)离子注入就是在真空中把气体或固体蒸汽源离子化,通过加 离子注入(ion injecting) 速后把离子直接注入到固体材料表面, 从而改变材料表面 (包括近表面数十到数千埃的深度) 的成分和结构,达到改善性能之目的。
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Private oxygen ion injecting equipment 专用氧离子注入机
ion injecting
离子注入
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