large beam low-energy implantation
...大束流低能注入； 单晶片注入； 机械扫描 中图分类号： TN305.3 文献标识码： A 文章编号： 1004-4507(2009)10-0001-08 [gap=642] 32 nm Node Devices; Drain Current Control; Ultra-Shallow Junction Implantation; Large beam low-energy Implantation; Single-Chip Implantation; Mechanical Scanning ..
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大束流低能注入
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