... 激光准直仪：laser collimator 激光准直误差：laser alignment error 激光准直器：laser aligner ...
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This paper introduced, the method about laser alignment using round zone plate, analysed sources and distribution of the method's error in a systematic way.
本文介绍了波带板激光准直的方法，比较系统地分析了波带板激光准直的误差来源和精度分布情况。
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