...术主要包括：光刻技术 （photolithography）、电子束成像（electron-beam lithography）、激光直写技术（laser direct writing）等；而波导三维化加工技术主要是刻蚀技术，如湿法刻蚀（化学腐蚀）、 反应离子刻蚀（RIE）和离子束刻蚀等。
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利用雷射直接写入技术 （Laser Direct Writing）可简化制程步骤、降低设备成本、提 高制程效率同时减少酸碱溶液的使用，将可有效降低薄膜电晶体 (TFT) 的制作成本。
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Femtosecond laser direct writing 飞秒激光刻写
polar laser direct writing 极坐标激光直写
laser direct writing device 激光直接写入设备
laser direct writing systems 激光直写系统
parallel laser direct writing 并行激光直写
laser direct writing technique 激光直写技术
Laser direct writing technology is one of the most important ways to produ-ce a binary optical component.
激光直写技术是制作二元光学元件的一种重要方法。
参考来源 - 激光直写机的光功率控制系统研究与设计This thesis introduces the method of producing rainbow digital holographic stereogram with mosaic and laser direct writing techniques.
本文介绍了采用拼接技术和激光直写技术制作大面积彩虹数字合成全息图的方法。
参考来源 - 激光直写拼接彩虹全息图制作方法·2,447,543篇论文数据，部分数据来源于NoteExpress
The character of the laser direct writing device (LDWD) is analyzed.
分析了激光写入与加工设备的特点。
At last, the feasibility of fabricating light guide plate by double beam laser direct writing system is confirmed.
最后论证用双光束激光直写系统制作亚微米光栅型导光板的可行性。
To improve the precision of the laser direct writing device, researches have been done for the focusing servo system.
为了提高在激光直写设备中光刻系统的写入精度，对光探头调焦系统进行了研究。
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