lateral dopant activation
...括侧向的光明会 性分布(lateral abruptness)、闸极重叠控制(gate overlap control) 与侧向掺杂活化 ( lateral dopant activation )， 对于使用高介电常数闸极介电质与金属电极的低功率逻辑元件，以满足系统晶片(system-on-a-chip， 对于较薄的绝缘层薄膜， 3，...
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lateral dopant activation
侧向掺杂激活
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