图2 HB 法设各及炉温分布示意图 4.1.3 液封直拉法(LEC) 液封直拉法(Liquid Encapsulate- Czochralski,LEC)该法于 1962 年首先由 E.P.A.Metz 用于化合物半导体PbTe-晶长生。
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liquid encapsulate- czochralski
液体封装-查克拉尔斯基
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