· 真空交换舱(Load Lock Chamber)：玻璃基版被加载第一个舱体，抽成第一级的真空，同时借此位置借由机械帮浦排除一些可能的污染，以便进行第二级真空舱的进入准备...
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此次通过对放置晶圆的运送盒、搬运机器人、以及 负荷固定舱 （ load lock chamber ）的气流控制等采取独自的措施，能够自动运送薄晶圆。
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具有晶片输送腔体(Load Lock Chamber)，可有效的节省制程时间。 2.
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5Torr-10Torr（碟阀控制时）上/下料腔（load lock chamber）：0。5Torr-10Torr
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