低k介质
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low-k dielectrics 低介电材料 ; 低介电薄膜 ; 低介电常数绝缘体
ultra low k dielectrics 超低k介质
ultra-low K dielectrics 超低介电常数材料
low k dielectrics
低k介电体
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The synthesis, structure, properties and process interaction of low k dielectrics are reviewed. Characterization techniques for low k dielectric films are summarized.
综述了低介电常数介质薄膜的制备方法、结构与性能表征、工艺兼容性等领域的最新进展。
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