摘要：本文概述了低介电常数材料（Low k Materials）的特点、分类及其在集成电路工艺中的应用。指出了应用低介电常数材料的必然性，最后举例说明了低介电常数材料依然是当前集成电路...
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Low-k materials 低介电值材料
nano-porous low-k materials 纳米多孔低介电常数材料
low k materials
低k材料
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Contrasted to composite high-k materials with conductive and insulated phases, it is simple in structure and low in energy loss.
相对于导电相一绝缘相复合高介电材料，它结构简单，损耗不高。
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