液相外延法(LPE-Liquid Phase Epitaxy) 优点 生长设备比较简单; 生长速率快; 外延材料纯度比较高; 掺杂剂选择范围较广泛; 外延层的位错密度通常比它赖以生长的衬底...
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LPE Liquid Phase Epitaxy 液相外延复生
lpe-liquid phase epitaxy
液相外延
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