MEMS真空封装
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mems vacuum package
Mems真空封装
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To solve the problem of MEMS vacuum package, vacuum resistance welding equipment, which contains resistance welding and vacuum system, was designed and manufactured.
为了解决MEMS器件真空封装难题，设计并研制了一台将电阻焊与真空系统集成于一体的真空电阻焊机。
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