本论文主要集中在:（1）利用 金属辅助白勺化学刻蚀（Metal-Assisted Chemical Etching, MACE）白勺方法制备生长可控、外表光滑白勺SiNWs阵列;（2）通过实验和利用严格耦合波分析（Rigorou...
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本论文主要集中在:（1）利用金属辅助的化学刻蚀（Metal-Assisted Chemical Etching, MACE）的方法制备生长可控、表面光滑的SiNWs阵列;（2）通过实验和利用严格耦合波分析（Rigorous ...
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而美国伊利诺大学开发出的金属辅助化学蚀刻(Metal-assisted chemical etching,MAC Etch)技术，是将一片已刻妥晶圆表面欲蚀刻图像的金属薄膜，覆盖在砷化镓晶圆上，然后将砷化镓晶圆浸入MAC E...
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