...技术为干法制绒的离子反应法(Reactive Ion Etching,RIE)及湿法制绒的金属催化化学腐蚀法(Metal Catalyzed Chemical Etching,MCCE),干法黑硅设备以常州比太科技为主,湿法黑硅设备以阿特斯和尚德以自我改造为主。
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metal catalyzed chemical etching
金属催化化学蚀刻
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