...金属有机物化学气相沉积(metal organic chemical vapour deposition) 又称有机金属化合物气相淀积法。一种利用有机金属热分解反应进行气相外延生长薄膜的化学气相沉积技术。
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metal-organic chemical vapour deposition 金属有机汽相外延 ; 化学气相沉积
metal organic chemical vapour deposition
金属有机化学气相沉积
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