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metal organic vapor phase epitaxy

网络释义

  金属有机气相外延

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  气相外延

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  材料金属有机气相外延

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  相磊晶法

常用的技术有液相磊晶成长法(Liquid Phase Epitaxy,LPE)及有机金属气相磊晶法(Metal Organic Vapor Phase Epitaxy,MOVPE)等。在蓝/绿光二极体的制作上,多半是以高温MOVPE磊晶法生产。

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有道翻译

metal organic vapor phase epitaxy

金属有机气相外延

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