micro-electro-mechanical system design
文章摘要信息 关键词 ： 微机电系统设计；疲劳；薄膜；梳状驱动器；有限元分析 [gap=1135]Keywords : micro-electro-mechanical system design;fatigue;thin film;comb driver;FEA
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micro-electro-mechanical system design
微机电系统设计
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