...n.com豆丁网 p RIE release process；drive circuit；sense circuit 微陀螺是微惯性测量组合(Micro Inertial Measurement Unit，MIMU)中的核心组件之一，利用它来感测物体的 旋转，从而达到控制物体姿态的目的。
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...微型陀螺仪、微型加速度计和相关的专用集成电路组成了一种重要的MEMS系统一微型惯性测量单元（Micro Inertial Measurement Unit，MIMU）【ll J o 微型惯性传感器的研究和生产主要集中在美国，其研究水平处于世界领先地位。
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...r 惯性导航系统通常使用线加速度计测量线加速度,用陀螺仪测量刚体的角速度,微型惯性测量组合(Micro Inertial Measurement Unit , MIMU) 作为一种新型惯性导航系统也不例外.
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non-gyro micro inertial measurement unit 无陀螺微惯性测量单元
A design method of the micro inertial measurement unit (MIMU) system is introduced.
介绍了一种微惯性测量组合(MIMU)系统的设计方法。
A low cost calibration system for micro inertial measurement unit (MIMU) has been designed.
设计了一台低成本的微惯性测量组合标定系统。
This paper presented one single chip micro inertial measurement unit based on ordinary bulk micromachining process such as dissolved wafer process.
论文基于普通的体硅工艺设计实现了一个单片集成式硅微惯性测量组合。
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