... NSG为半导体积体电路中之绝缘层材料,通常以化学气相沉积的方式生成,具有良好的均匀覆盖特性以及良好的绝缘性质。 OEB Oxide Etch Back氧化层平坦化蚀刻 Ohmic Contact欧姆接触 ...
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oeb oxide etch back
氧化硼蚀刻回
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