日立万胜及三菱化学媒体的研究小组采用将激光束分成主激光束和副激光束的“光学干扰消除器（Optical Interference Canceller）技术”。先锋则使用电子束曝光设备进行了母盘制作，通过采用干蚀刻工艺，改善了模片（Stamper）的平坦性。
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optical interference canceller
光干涉消除器
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