...网走线相对位置及布线线形对其光学邻近效应的影响,通过相应的光刻模拟模型定义了用于估计光学邻近效应(optical proximity effect,OPE)的OPE费用函数,并采用OPE费用阈值控制Steiner树的生长方向和走线路径的选择,同时兼顾线网长...
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...形转移到晶圆片上时便会产生严重的失真，引起电路单元功能失效等不良后果，这被称为光学邻近效应(OPE，Optical Proximity Effect)[1-2]。图中T 形掩模和矩形掩模的光刻胶曝光图形显示了拐角的圆化和直边的毛刺。
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... 包括应力邻近效应 stress proximity effect 井邻近效应 Well Proximity Effect 产生光学邻近效应 Optical Proximity Effect ...
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...工艺中的光波长·根据光的衍射和干涉原理,当光把掩摸图形照射到硅片上时,图形将由于相互的光学临近效应(Optical Proximity Effects, OPE)发生变形,从而导致电路性能的降低甚至逻辑错误·因此必须采用一些矫正方法来弥补这种光学临近效应产生的变...
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optical proximity effect correction 光学邻近效应修正
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