... optical afterimage 光学可见度 optical wafer stepper 步进式晶片曝光机 optical wafer dispatch 步进式晶片曝光 ...
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It utilizes optical phase shifting mask to improve resolution limit for an existing wafer stepper.
它应用了光学相移掩模方法,大大提高了现有光学光刻设备的分辨率水平。
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