... 本技术涉及一种用以在刻蚀设备的卡盘和托盘之间形成密闭空间的密封圈。技术介绍图形化蓝宝石衬底(Patterned Sapphire Substrates)，是目前普遍采用的一种提高GaN基LED器件出光效率的方法。
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patterned sapphire substrates
花纹蓝宝石衬底
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