基于MEMS技术制备的压电超声换能器(Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer, pMUT),相比于传统的超声换能器,具有易阵列化,集成度高,抗干扰能力强等优点,并且在实现高精度以及与IC工艺...
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...设备中的声频定向微型扬声器,旨在研究其关键组成部分—微型压电超声换能器(piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer, pMUT)的动态性能,并对换能器的结构参数进行优化。
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...究的对象是可用于手机等个人便携式移动多媒体通讯设备中的压电超声微换能器(piezoelectric micromachined ultrasonic transducer, pMUT),它可以发射出有指向性的声音从而有望解决在公共场合使用这些便携设备的内置扬声器而带来的噪音污染和个人...
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...的对象是可用于手机等个人便携式移动多媒体通讯设备中的压电 超声微换能器(piezoelectric micromachined ultrasonic transducer,pMUT),它可以发射出有指向性的声音从而有望解决在公共场合使用这些便携设备的内置扬声器而带来的噪音污染和个人...
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