词定义 中文名称: 皮拉尼真空计 英文名称: Pirani vacuum gauge 定义: 利用电阻丝的阻值随温度变化的原理来测量压强的仪器。 所属学科: 机械工程(一级学科);实验室仪器和装置(二级学科);真空获得仪器与装置- 真空仪器与装置
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Pirani Vacuum Gauge and Display 数显皮拉尼真空计
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An integrated CMOS-compatible Pirani vacuum sensor system has been investigated and developed in this work, combining the traditional Pirani gauge with the MEMS technology.
本文将传统的皮拉尼计与MEMS技术结合起来,研制了一款与标准CMOS工艺兼容的集成皮拉尼传感器系统。
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