【正文快照】： 0引言多晶硅薄膜(poly-Si)是当前在能源科学和信息技术领域中广泛使用的功能材料,具有各种良好电学特性,目前已被广泛应用于大规模集成电路和各种半导体器件...
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poly-Si TFT 多晶硅薄膜晶体管 ; 与多晶硅 ; 多晶硅 ; 复晶硅薄膜电晶体
poly-Si thin film 多晶硅薄膜 ; 太阳能电池
poly-Si TFTs 多晶硅薄膜电晶体 ; 多晶硅薄膜晶体管
Low Temperature Poly-Si 其中就有低温多晶硅
c-Si and poly-Si 单晶和多晶硅
Poly-Si LCD 高温多晶硅液晶
poly-Si thellon film 多晶硅薄膜
as doped poly-si 掺as多晶si
The polycrystalline silicon(Poly-Si) films are widely used in energy sources and informational science field.
多晶硅薄膜材料已广泛应用于太阳能电池和集成电路制造等领域。
参考来源 - 金属诱导法制备多晶硅薄膜的研究进展·2,447,543篇论文数据，部分数据来源于NoteExpress
The structure of the laser crystallized poly-Si thin film is analyzed by using spectroscopic ellipsometry.
采用椭偏光谱法分析了薄膜的结构，并提出多层膜模型模拟薄膜结构。
The surfaces of poly-Si thin film and gate oxide of thin film transistors were passivated using N2O/NH3 plasma.
采用N2O和NH3等离子钝化技术对多晶硅薄膜表面和栅氧表面进行了钝化处理。
Poly-Si can be produced by laser crystallization of a-Si, metal-induced crystallization of a-Si, and many other methods.
多晶硅薄膜的制备方法很多，主要有化学气相沉积法、激光结晶法、金属诱导晶化法等。
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