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polysilicon reactive ion etching

网络释义

  复晶硅活性离子蚀刻系统

称： 中文名称：复晶矽活性离子蚀刻系统 英文名称：Polysilicon Reactive Ion Etching 英文简称：Poly-Si RIE 三.服务项目： 蚀刻复晶矽、单晶矽等材料。 （试片不得含有参杂及金属） 四.重要规格： 包含两个真空邦浦、一个真空室

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有道翻译

polysilicon reactive ion etching

多晶硅反应离子蚀刻

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- 来自原声例句
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