position sensitive photo detector
一般所使用的位 置灵敏侦测器(Position Sensitive Photo Detector，PSPD)具有四个象限，可量测雷射光点的横向与高 低位置变化，并分别对应针尖在侧向与z方向的受力。
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一般所使用的位 置灵敏侦测器(Position Sensitive Photo Detector，PSPD)具有四个象限，可量测雷射光点的横向与高 低位置变化，并分别对应针尖在侧向与z方向的受力。
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position sensitive photo detector
位置敏感光电探测器
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