...om豆丁网 所产生的制程漂移, Butler与Stefani [6] 提出了兩个EW M A 控制器,称为预测 修正控制器(predictor correct control, PCC),利用EW M A 同时來递回估计制程的漂移及快速偏移,并且计算所需补偿 的输入值。
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predictor correct control
预测校正控制
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