支持向量机算法在氮化铝薄膜生长过程控制中的应用,电子机械工程网 关键词: 氮化铝薄膜制备; 支持向量机算法; 实验设计 [gap=842]Keywords: Preparation of AlN film; support vector machine; experimental design
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preparation of aln film
铝膜的制备
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