协作 中文名称 反应离子刻蚀系统 英文名称 Reactive Ion Etching System 仪器分类 工艺实验设备 - 电子工艺实验设备 - 半导体集成电路工艺实验设备 仪器型号 790-10-RIE-CC 生产厂商 美国 UNAXIS U
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