半导体晶片加工(semiconductor wafer manufacture)是把半导体晶锭加工成满足外延生长或半导体器件制作所需晶片的半导体材料制备工序。
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semiconductor wafer manufacture
半导体晶圆制造
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The invention relates to a wafer clamp for an ion implanter which belongs to the field of semiconductor equipment manufacture.
本发明涉及一种离子注入机用的晶片夹，属于半导体装备制造领域。
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