silicon capacitive pressure sensor
12 中文名称 硅电容式压力传感器 英文名称 Silicon capacitive pressure sensor 发布日期 2012-11-05 实施日期 2013-02-15 起草单位 沈阳仪表科学研究院、传感器国家工程研究中心、国家仪器仪表元器件质量监督检验
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硅电容式压力传感器
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