... Diffusion Under epitaxial Film: 外延膜下扩散 silicon epitaxial film: 硅外延膜 oxygen-doped silicon epitaxial film: 掺氧硅外延膜 ...
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silicon epitaxial film
硅外延膜
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The method can selectively deposit an epitaxial silicon-containing film on a silicon surface of a substrate or, alternately, non-selectively deposit a silicon-containing film on a substrate.
该方 法可以在衬底的硅表面上选择性地沉积外延含硅膜，或者在衬底上非选择 性地沉积含硅膜。
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