对铜而言，回刻工艺使用的是过硫酸钠和硫酸的混合溶液（sodium persulfate and sulfuric acid, SPS），该溶液可以根据工艺要求采用不同的配比以达到预期的腐蚀速率。
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sodium persulfate and sulfuric acid
过硫酸钠和硫酸
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