固体浸没透镜(sil)
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solid immersion lens sil
固体浸没镜
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The reflection effect of the spherical surface of a hemisphere solid immersion lens (SIL) has been investigated using the vectorial diffraction theory for high numerical aperture systems.
应用高数值孔径系统的矢量衍射理论研究了半球形固体浸没透镜(SIL)球面表面的反射对SIL系统透射场的影响。
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