从1998年以来来瑞耘陆续完成了晶圆旋干机(Spin Rinse Dryer)、SAT (Spray Acid Tool)、SST (Spray Solvent Tool)、蒸气干燥机(Vapor Dryer)及研磨液供应系统(Slurry Supply System)等设备之...
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spin rinse dryer
旋转漂洗烘干机
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