Key words : squeeze2film air damping ; M EMS ; slotted plate ; Reynolds equation [gap=15010]关 键 词 : 压 膜 空 气 阻 尼 ; 微 电 子 机 械 系 统 ; 槽 板 ; 雷 诺 方 程
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squeeze2film air damping
挤压膜空气阻尼
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